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新聞詳情

DBC、AMB、DPC 覆銅陶瓷基板的工藝流程

74 2024-06-05
覆銅陶瓷基板

覆銅陶瓷基板是通過特殊工藝在陶瓷基片單/雙表面結(jié)合銅材的基板,在功率半導(dǎo)體產(chǎn)品中應(yīng)用廣泛,重要性僅次于芯片,是高功率高散熱產(chǎn)品的核心封裝材料之一。


陶瓷覆銅板按照工藝一般可分為:DPC(直接電鍍陶瓷基板)、DBC直接覆銅陶瓷基板)和AMB(活性金屬釬焊陶瓷基板),具有導(dǎo)電互聯(lián)、電氣絕緣、散熱通道和機械支撐等優(yōu)良功能。其中DBC和AMB在功率半導(dǎo)體中被大量應(yīng)用。


陶瓷基板

  • DPC陶瓷基板


DPC主要用蒸發(fā)、磁控濺射等面沉積工藝進行基板表面金屬化,先是在真空條件下濺射鈦,然后再是銅顆粒,最后電鍍增厚,接著以普通PCB工藝完成線路制作,最后再以電鍍/化學(xué)鍍沉積方式增加線路的厚度。覆銅板一般需要印制較為密集的線路,打孔等,線路制作較為精密。通常鍍層厚度一般是1um~10um,銅層的結(jié)合力在8~15n/mm。


  • DBC陶瓷基板


DBC 是一種將銅箔直接鍵合在陶瓷基板上的工藝。優(yōu)點在于其高熱導(dǎo)率、高絕緣性能和高可靠性。陶瓷基板具有優(yōu)異的熱傳導(dǎo)性能,能夠有效地將器件產(chǎn)生的熱量傳遞到散熱器上,從而保證器件的穩(wěn)定性和壽命。陶瓷基板DBC工藝還具有高可靠性,能夠保證器件在長期使用過程中的穩(wěn)定性和可靠性。



  • AMB陶瓷基板


AMB陶瓷覆銅板采用的是AMB活性釬焊工藝做銅,銅層結(jié)合力比DPC要高,在18n/mm以上,高的達到21n/mm以上。AMB陶瓷覆銅板通常結(jié)合力高,通常做的銅較厚,在100um~800um之間,一般很少做線路或者打孔,就算有線路也是非常簡單,間距比較寬。



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