鑒于CO2激光能量較低時(shí)會(huì)引起銅連接盤上殘留樹(shù)脂或者顯露玻璃絲頭(有增強(qiáng)玻纖布時(shí))等前缺點(diǎn),而二氧化碳激光能量增大時(shí),往往會(huì)由于長(zhǎng)時(shí)間激光照射,樹(shù)脂來(lái)不及燃燒與揮發(fā)形成“焦化”而殘留于孔壁上或底銅連接盤上,或者由于底銅連接盤溫度很高而造成“底銅連接盤與其下面樹(shù)脂介質(zhì)層之間分離現(xiàn)象”的缺陷。為了解決這些問(wèn)題,目前主要方法有:分步法(多次激光,一般為三次);改變激光的脈沖寬度方法;分布激光與改變激光脈沖寬度相結(jié)合的方法。
1) 分步激光脈沖開(kāi)孔加工方法。這是指在相同能量下,是以一次激光為此微孔,還是以多
次激光來(lái)完成微孔,很顯然,采用多次(一般為三步)激光開(kāi)微孔具有更好的結(jié)果,多次激光能使得、底銅連接盤上有足夠的溫度(來(lái)不及散熱或者散熱較少)從而極少或不留樹(shù)脂殘留物,。在相同激光能量下,一步法激光開(kāi)孔的底銅上具有殘留的樹(shù)脂,而多步法激光開(kāi)通的底銅上不殘留著樹(shù)脂層。實(shí)質(zhì)上分步激光開(kāi)孔是在相同的時(shí)間內(nèi)把原有激光能量分成多次來(lái)完成開(kāi)孔,而且每一次激光開(kāi)孔能量也是不同的,第一次激光開(kāi)孔的能量較大,然后依次把能量減半可以獲得較佳的效果。
2)CO2激光脈沖寬度的影響,采用多步激光開(kāi)孔可以減少底銅散熱以提供底銅局部足夠溫度
來(lái)除去樹(shù)脂,實(shí)驗(yàn)表面和通過(guò)熱傳導(dǎo)解析計(jì)算得知,除了通過(guò)脈沖高峰值分布激光開(kāi)孔減少孔底銅箔上殘留樹(shù)脂外,脈沖寬度也影響著樹(shù)脂殘留厚度,激光脈沖寬度越窄,其殘留的厚度就越少。因此,采用狹小短脈沖高峰值二氧化碳激光開(kāi)孔具有好的微孔質(zhì)量。
3)CO2激光能量的影響。CO2激光能量,將影響微孔加工的深度,這是影響到微盲孔的厚
徑比的問(wèn)題,。在一定的激光脈沖寬度下,激光除去樹(shù)脂的深度并不是完全隨著激光能量的增加而增加,只是在一定的功率密度數(shù)值范圍內(nèi)成立,而超過(guò)這個(gè)功率密度值范圍,就會(huì)隨著激光功率密度增加而降低。
4)激光光束能量分布的影響。采用端脈沖高峰值來(lái)加工大孔徑時(shí)(大于?200μm),由于照射能量大,加上熱量集中于銅箔中心處會(huì)產(chǎn)生損傷或擊穿銅箔等缺陷,通過(guò)把尖形光束改為平頭光束,減少底銅中心部位溫度上升,從而均勻溫升除去樹(shù)脂而不損傷底銅連接盤。
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