一、薄膜電路工藝。
采用通過磁控濺射,圖形化光刻,干法濕法蝕刻,電鍍加厚工藝,在陶瓷基板上制作出超細線條電路圖形。
在薄膜工藝中,基于薄膜電路工藝,通過磁控濺射實現(xiàn)陶瓷表面金屬化,通過電鍍實現(xiàn)銅層和金成的厚度大于10微米以上。即 DPC( Direct Plate Copper-直接鍍銅基板)。
二、厚膜電路工藝
1、HTCC(High-Temperature Co-fired Ceramic)
2、LTCC(Low-Temperature Co-fired Ceramic)
3、DBC(Direct Bonded Copper)
陶瓷基板制作工藝中的相關技術:
經(jīng)過感光膜
的貼附后,電路板曾經(jīng)過類似內(nèi)層板的制作程序,再次的曝光、顯影。這次感光膜的主要功能是為了定義出需要電鍍與不需要電鍍的區(qū)域,而我們所覆蓋的區(qū)域是不需要電鍍的區(qū)域。
利用氣體輝光放電過程中產(chǎn)生的正離子與靶材料的表面原子之間的能量和動量交換,把物質(zhì)從源材料移向襯底,實現(xiàn)薄膜的淀積。
將材料使用化學反應或者物理撞擊作用而移除的技術。蝕刻的功能性體現(xiàn)在針對特定圖形,選擇性地移除。
8、防焊漆涂布:
陶瓷電路板的目的就是為了承載電子零件,達成連接的目的。因此電路板線路完成后,必須將電子零件組裝的區(qū)域定義出來,而將非組裝區(qū)用高分子材料做適當?shù)谋Wo。由于電子零件的組裝連結(jié)都用焊錫,因此這種局部保護電路板的高分子材料被稱為“防焊漆”。目前多數(shù)的感光型防焊漆是使用濕式的油墨涂布形式。